플라즈마트(대표 이용관)는 국내 유일의 플라즈마 전문 회사로, 플라즈마와 관련된 토털 솔루션을 제공하고 있다.

　이 회사는 반도체 장비의 핵심 기술인 플라즈마의 발생·검사 및 측정 분야에서 국내 최고의 기술력을 보유하고 있다. 해외 업체와의 경쟁에서도 우수한 것으로 평가받고 있다. KAIST 물리학과 출신 박사급 인력 4명과 삼성전자 출신의 석사급 인력이 합류해 최상의 팀워크를 자랑하고 있다.

　그동안 국내에서는 반도체 장비의 국산화율 제고가 관련 업계의 숙제였으며, 플라즈마를 응용한 관련 기술 확보가 그 중 하나로 꼽힐 만큼 기술 장벽이 높은 분야로 인식돼왔다.

　이 회사의 제품군은 매처와 RF 파워 등 크게 두 가지로 나뉜다.

　매처(Mataher)는 플라즈마를 응용한 식각, 증착, 세정장비를 구성하는 핵심 모듈이다. RF 파워에서 발생한 에너지를 플라즈마 발생 장치로 연결할 때 전달되는 파워의 손실을 최소화시키는 역할을 한다. RF파워는 반도체 장비 등에서 플라즈마를 발생하기 위한 에너지를 공급하는 핵심 모듈로, 고도의 신뢰성이 요구된다.

　이 제품들은 지난 2007년 국내 대표적인 반도체 장비업체인 주성엔지니어링에 납품, 하이닉스 양산라인에 설치돼 기술력과 신뢰성을 인정받았으며, 최근에는 삼성전자에도 제품 공급이 이뤄지고 있다.

　투자사인 이노폴리스파트너스는 플라즈마트 성장 과정에서 기업 가치를 높이는 지원에 주력했다.핵심 기술진 외에 개발, 제조, 관리 등을 보강할 수 있는 인력을 다수 확보, 영입함으로써 기술 벤처가 안고 있는 취약점을 보강하는데 신경썼다. 또 그동안 투자 업무를 통해 확보된 인적 네트워크를 통해 납품 가능업체와 협력업체를 소개하고, 대기업과의 영업 진행시에도 관련 지인을 파악해 소개하는 등 가교 역할에 나섰다.

　이용관 플라즈마트 사장은 “기술개발 및 운영 자금이 필요한 시기에 적절하게 이노측의 투자로 개발 및 양산 설비 구축에 많은 도움이 됐으며, 회사가 한단계 도약할 수 있었다”며 “현재도 경영전반에 관한 컨설팅 제공으로 경영에 많은 도움이 되고 있다”고 말했다.

　플라즈마트는 그동안 축적된 기술력을 기반으로 올해 신제품을 단계적으로 출시해 매출 및 수익성을 높여나갈 계획이다.

　또 고객의 니즈에 적합한 다양한 제품을 추가적으로 개발할 예정이다. 2011년 해외 시장 진출을 목표로 하고 있다.

　이용관 사장은 “앞으로 하이테크 핵심 공정 장비 부품 등 사업 영역을 다각화해 세계적인 기업으로 도약해 나가겠다”고 말했다.

대전=신선미기자 smshin@etnews.co.kr